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溅射薄膜压力传感器在航空工业的应用

2020-3-5

溅射薄膜压力传感器又称溅射膜、纳米膜或者纳米薄膜压力传感器,其在航空业的主要应用有以下四个方面: 1、风洞实验;2、航空发动机压力检测;3、飞机主、辅液压系统的压力测量;4、大气参数测量,舱内外压力等。

溅射薄膜压力传感器

目前用于以上四个方面的压力传感器分别有贴片式、扩散硅式、弹簧管式、振筒式等,由于这些传感器本身存在某些固有缺陷,溅射薄膜压力传感器将是以上产品的最佳替代品。

在风洞实验中,例如电子压力扫描阀,用的比较多的是贴片式、扩散硅式压力传感器,这些传感器精度不高,重复性不是很好,温漂较大,这样必然导致实验前后数据的可信度不高;薄膜压力传感器精度高、无漂移,重复性在0.02%以上,故能长期确保实验数据的准确性。

在航空发动机压力检测中,目前用于高温压力测量的传感器多采用国外进口SOI高温压力传感器,该进口传感器不仅价格昂贵,而且使用寿命不长,给使用单位的测试工作带来了很大的实验成本;薄膜压力传感器高温可达到400℃,精度可以达到0.05级,使用寿命在107次,且价格不到进口传感器的1/3,因此,在航空业上高温压力测量方面薄膜压力传感器将逐步替代进口压力传感器。

目前在各种型号的飞机上,测量主、辅液压系统用的传感器是弹簧管式压力传感器,该传感器是一种机械式传感器,依靠弹簧管的机械变形,改变滑片电阻的阻值来测量压力,这种传感器明显的缺点就是精度差、不抗震、不耐冲击、易泄漏,给飞机造成许多安全隐患;薄膜压力传感器彻底克服了以上缺陷,并在飞机上通过两年多的运行,结果十分理想,可想而知薄膜压力传感器即将全面替代弹簧管压力传感器在飞机上的应用,已经是势在必行了。

在大气参数测量中,振筒式传感器应用的比较广泛,但振筒式传感器的最大缺陷就是体积较大,输出形式单一,而薄膜压力传感器体积只有振筒式传感器的1/10,并且输出形式多样,更适合于大气参数(动压、静压)计算机系统。 以上是溅射膜压力传感器在航空业的应用趋势,到目前为止,已经有多种航空武器和多家航空单位在应用溅射薄膜压力传感器。 本文源自泽天传感,版权所有,转载请保留出处。

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