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高性能纳米薄膜压力传感器的特点与应用领域

2014-10-19

高性能纳米薄膜压力传感器,采用先进的原子薄膜沉积和精密离子束刻蚀技术,将灵敏度高、温度系数极低的应变电阻直接沉积在金属弹性体上。由于没有采用传统的胶粘工艺,显著改善了应变式压力传感器的长期稳定性、抗蠕变特性,使产品使用的温度范围大为扩展。

纳米薄膜压力传感器

采用纳米量级功能薄膜、钝化层薄膜、过渡层薄膜以及保护层薄膜等纳米材料制造高性能压力传感器,由于利用纳米粒子的表面积巨大的活性效应和纳米膜界面的增韧、抗裂纹效应,传感器的性能得到了全面的提高,使其同时具有高精度、高稳定性、高工作温度和耐恶劣环境的优良性能。这主要是因为微米和纳米两种尺寸的粒子形成的薄膜,其性能差异很大。薄膜形成的机理是:薄膜淀积过程中,先在衬底上生长彼此隔离的岛状晶核,称不连续薄膜。薄膜增厚时,晶核之间的网状结构彼此沟通,称为半连续膜。薄膜连续增厚时,岛状晶核互相沟通连接形成连续薄膜。显然,初期成膜的晶核粒子大小和分布以及致密度决定了膜的质量。晶粒大,分布疏松,致使膜的针孔多,附着力差,内应力大,这样导致膜的电特性、机械特性、温度特性均大大降低,直接影响了传感器的性能。

纳米薄膜压力传感器采用纳米粒子形成薄膜,它分布致密(因为一克纳米粒子,其表面积可达几万平方米),附着力大大提高。多层膜的界面实现了原子键合,这样提高了传感器的疲劳性能,使蠕变和滞后几乎不存在,改善了传感器的静态特性;同时,膜的散热性好,改善了传感器的温度性能;膜针孔少,均匀度好,提高了膜的绝缘性能,降低了电阻缺陷引入的电噪声。较薄的连续膜带来更多的好处:传感器的灵敏度提高了,桥臂电阻增大了,功耗降低了,发热减少了,零点输出不稳定性减弱了,工作温度范围扩大了。

总结起来,纳米膜压力传感器的众多出色性能主要由二个方面决定的,一方面是原子级薄膜沉积设备与工艺,另一方面是改性组份的Ni-Cr敏感材料,其温度系数为2ppm(打破国内外近百年来一直使用的常规Ni-Cr合金材料制作压力传感器敏感材料的常规)。

纳米薄膜压力传感器主要技术特点:

1、薄膜技术代替粘贴传感器中的粘贴工艺,消除了胶的影响,无蠕变、不老化;

2、耐蚀不锈钢与被测量介质直接接触,无隔离膜片和灌充液;

3、弹性体和应变电阻材料都是金属材料,温度特性好,传感器工作温度范围宽;

4、耐强腐蚀;

5、产品体积小,功耗低,响应速度快;

6、全金属一体化密封结构,高可靠性设计。

纳米薄膜压力传感器主要技术参数:

1、灵敏性:1.5±0.2mv/V; 2、量程:0~0.5…220Mpa; 3、综合精度:±0.05%F•S、±0.1%F•S、±0.2%F•S(含非线性、迟滞、重复性误差);4、长期稳定性:≤±0.1%FS/年;

5、介质温度:-260℃~-55℃~+125℃~+175℃~+250℃~+350℃;6、零点漂移:≤±0.005% F•S /℃;7、桥臂电阻:3±0.5KΩ; 8、绝缘电阻:≥1000 MΩ/100V;

9、过载能力:150%FS;10、接液材料:膜片 17-4PH,过程连接件 1Cr18Ni9Ti;11、>冲击:50g;X、Y、Z三向,每向20ms;输出变化小于0.03%FS;

12、响应时间:≤1ms; 13、供电电源:3~15VDC;14、连接方式:M20×1.5、M12×1、M10×1、G1/4或用户指定; 15、外壳防护等级:IP65或IP68;

16、电气输出引线:航空接插件、直接引线或用户指定。

纳米薄膜压力传感器主要应用领域:

纳米薄膜压力传感器广泛应用于某新型大推力低温发动机低温介质(液氮液氧)的压力测量,坦克、战车、船舶等军事装备的液压测量,石油、化工、冶金、核工业、汽车等领域压力测量。产品具有体积小、精度高、稳定性好、使用温度范围宽、温度漂移小、电桥阻抗高、抗振动和抗冲击性强等优点,可用于高温及低温等恶劣的环境。武器试验系统、火箭发射地面站支撑装置、军用卫星平台、战车、舰艇、导弹、坦克及工程机械的液压测试系统、航天飞行器飞行数据测试(燃烧室压力、测控风向数据)、弹道导弹机载激光器压力测量、核电站核能料压力检测、高温工业过程控制检测(如电力、冶金、石化等系统)、高温地热发电机的测试、工程和试验站、天然气、石油输送管道压力测控、汽轮机和发动机的压力测试标定、研发工程实验室、产品测试(如压力计量标准仪器)、功能测试系统(如水泵站标定测试)、柴油机高压共轨压力测量、汽车用压力传感器等、工业过程控制用精密压力测量、其它精确压力测试系统(如医疗、轻纺、煤矿、供排水等系统)。本文源自泽天传感,版权所有,转载请注明出处。

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