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ZPM150溅射膜压力传感器芯片

文档更新日期:2018-11-10       点击:
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  • 生产厂家:   泽天传感
  • 产品型号:   ZPM150
  • 数据手册: ZPM150溅射膜压力传感器芯片数据手册.rar
  • 产品特点:   溅射膜压力传感器芯片
  • 典型应用:   溅射膜压力传感器芯片
产品介绍

ZPM150溅射薄膜压力传感器采用先进的离束溅射工艺,在弹性膜片上淀积多层薄膜,采用干法刻蚀技术将NiCr膜刻蚀成电阻桥。在流体压力作用下,膜片变形使桥路电阻几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出与压力成比例的电信号。微电子工艺制作出的惠斯登电桥和膜片组成全金属型敏感元件,由于无任何粘贴剂和活动部件,无密封腔和充油腔,因此具有以下特点。

1、正常工作条件下,不需作任何调整,零点输出的长期稳定性优于±0.1%F.S/年;

2、无论是连续还是间断通电,室温下传感器的零点漂移误差优于±0.1%F.S;

3、传感器的综合精度(含非线性、重复性、滞后误差)可达到0.05级、0.1级;

4、工作温度范围宽:常规产品-40℃~125℃,特殊产品-55℃~180℃;

5、可靠性高,平均无故障工作时间超过50000小时;

6、传感器输入阻抗高、功耗小、响应速度快;

7、耐湿、抗振动、抗冲击、抗电磁与核辐射干扰;

8、弹性体和应变电阻材料都是金属材料, 溅射工艺代替粘贴工艺, 消除了胶的影响,无蠕变、不老化、工作温度范围宽、温度特性好;

9、体积小、重量轻,适合大批量组装生产。

应用领域

军事工业:武器及试验系统、军用卫星、运载火箭与发射地面支撑装置、坦克及战车发动机、航空发动机测试系统、舰艇、、航天器、航天飞行器飞行数据测试、弹道导弹、机载激光器压力测量;

石化能源:油田钻井、测井、录井、试压设备、油井测量仪器、近海深海石油开采平台、天然气、石油输送管道、电厂、核电站、高温地热发电机;

高温燃油与发动机制造:燃烧室压力、燃油压力控制系统、燃气轮机和发动机测试、内燃机、压缩机、试验机、蒸汽等高温高压的压力测量;

工程机械与液压系统:高温液压系统、液压机械、液压泵站、压铸机、静压机等;

船舶交通:船舶制造、柴油机高压共轨压力测量、汽车压力测量等;

科研与试验:髙端设备配套、工程项目配套。

技术参数

ZPM150技术参数表

灵敏度及非线性

ZPM150灵敏度及非线性

典型尺寸

ZPM150外形尺寸

使用指南

1、严禁用手或其他物体接触膜片表面(应变图形),膜片表面的任何划伤均会损坏膜片;

2、膜片电接点焊接后建议使用硅凝胶涂覆膜片表面以保护应变电桥;

3、膜片焊接后,应对传感器组件进行机械稳定20次以上,压力大小为量程的2倍;

4、建议对应变电阻进行电老化:供电电压10~15VDC,+150℃ 12小时。

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ZPM150溅射膜压力传感

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