溅射薄膜压力传感器与薄膜压力变送器有哪些优势
发布时间：2018-4-23 发布人：泽天传感 点击：
卓越的温度性能：工温度宽：-40-175℃（传感器）；-40-125℃（变送器直接测量）温漂小：无补偿全温区0.02％F.S/℃漂移。长期稳定性和可靠性，在压力交变频繁的场合下，使用寿命长。在航天行业，用于液氮、液氧测量的低温压力传感器已经成功替代了俄罗斯的溅射薄膜压力传感器。这是其它类型传感器无法实现的。下图为泽天传感设计制造的一种最为典型的溅射薄膜压力传感器实物图。
| 类 型 | 优 点 | 缺 点 |
| 扩散硅 | 在温度补偿范围内（0—50℃或0—70℃）性能稳定；小量程和绝压优于其它类型；灵敏度高 | 低于0℃或高于80℃后，温度稳定性会大幅度降低；不能承受动态压力；膜片易受损伤。 |
| 厚膜陶瓷 | 成本低；抗腐蚀性好；使用温度宽 | 输出跳动，不易读数；压力下降时回零慢、迟滞大；陶瓷膜片薄而脆、易碎 |
| 电容式 | 量程全；抗过载能力强；性能稳定 | 体积大；不能承受动态压力；高温需充硅油 |
| 应变片贴片 | 低成本；成熟传统工艺 | 由胶引起的时漂大；靠手工生产离散性大 |
| 溅射薄膜 | 工作温度宽，温漂小，精度高 全球公认长期稳定性和高可靠性、长寿命；适用恶劣环境 | 成本比较高；生产周期长 |
曾经大量用于火箭发动机燃气测量的贴片式压力传感器，由于其固有的缺陷正慢慢的被薄膜压力传感器代替。油井高温流体压力的检测，泽天公司薄膜压力传感器占有国内30％左右的市场份额。在频繁冲击压力测量方面，其它变送器重复性差，并存在如下缺陷：扩散硅、陶瓷型变送器由于靠密封圈密封。经过动态压力的间隙性的冲击，密封圈容易损坏，而泽天传感变送器采用全焊接形式，不会泄漏。贴片式变送器虽能克服泄漏问题，但在压力的冲击下，胶层很容易老化，而产生蠕变，因而使用寿命很短。电容式变送器在压力交变的冲击下，传感器膜盒很容易损坏。发动机行业，现多采用机械式压力传感器。由于有机械部件不抗震、精度太低。而扩散硅、贴片式又不能解决其温度问题，所以很快将会被薄膜压力传感器取代。本文源自泽天传感，版权所有，转载请保留出处。
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